在芯片制造、生物醫藥等高精尖領域，有一種“隱形殺手”常被忽視——它就是AMC（空氣分子污染物）。這類看不見的酸性、堿性氣體或有機物不僅會對生產儀器設備、人員、產品及周邊環境等造成嚴重的影響，還會悄然影響產品良率與設備壽命。

要想高效控制AMC，可以這樣做

精準過濾：配置化學過濾器，針對性吸附不同AMC；

源頭控制：選用低揮發性材料，減少污染物釋放；

優化氣流：合理組織潔凈室氣流，防止污染物擴散；

實時監測：借助傳感器實時監測，污染早發現、早處理。

傳統的分析方法因涉及冗長的采樣流程與復雜的樣品預處理環節，往往無法在短時間內輸出分析數據，致使產線無法實現快速響應與工藝調控。而億天凈化AMC化學污染物在線監測系統憑借ppb級超高靈敏度特性，成為半導體制造環境實時監控的理想解決方案。

AMC在線監測系統專用于對潔凈區域中的環境進行AMC（氣態分子污染物）監測。該系統可與信號控制箱、監測服務器、電腦終端、專業軟件、泵、多路采樣器等設備配套使用，并可根據廠房的實際布局配置完整的數據線、電源線等輔助材料，實現對環境中AMC濃度的實時監測、數據展示、自動存儲、歷史查詢與圖表分析等功能，全面滿足半導體潔凈廠房在環境數據管理方面的需求。

AMC化學污染物在線監測系統特點和優勢

通過監測系統對AMC物質濃度監測，建立預警系統；

部分監測物質檢出限可達ppt級別；

針對RC、CxF、TVOC等物質具備定制化功能；

提供實時在線歷史數據查看和數據圖標趨勢分析;

ESKY公司具備CNAS資質實驗室，可進行數據手工校驗;

遠程控制，支持 TCP/IP 以及 485 連接到現有上位機。

AMC化學污染物在線監測系統配置