在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中對(duì)于工藝制造環(huán)境要求嚴(yán)苛，任何微小的雜質(zhì)，都可能引發(fā)生產(chǎn)故障，嚴(yán)重?fù)p害產(chǎn)品質(zhì)量，特別是氣態(tài)分子污染物(AMC)。因此，對(duì)氣態(tài)分子污染物(AMC)在線監(jiān)測(cè)，成為了半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程必不可少的一環(huán)。

但是，傳統(tǒng)的分析方法往往需要非常耗時(shí)的采樣和樣品制備等過程，根本無(wú)法在短時(shí)間內(nèi)提供結(jié)果，也就導(dǎo)致半導(dǎo)體工廠并不能及時(shí)有效進(jìn)行干預(yù)。

所以具有超高靈敏度的億天凈化AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，方能適用于半導(dǎo)體行業(yè)。

01.什么是AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

系統(tǒng)可對(duì)潔凈區(qū)域中的環(huán)境進(jìn)行AMC監(jiān)測(cè)，AMC監(jiān)測(cè)器型號(hào):ESKY-OGSMART，配合信號(hào)控制箱，監(jiān)測(cè)服務(wù)器電腦，軟件，多路采樣器以及根據(jù)廠房的實(shí)際情況配全相應(yīng)的數(shù)據(jù)線電源線等輔材，可實(shí)現(xiàn)環(huán)境中的AMC實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示、存儲(chǔ)、歷史查看、圖表分析等功能。

02.AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

·通過ESKY-OGSMART 監(jiān)測(cè)儀器對(duì) AMC 腐蝕速度監(jiān)測(cè)建立預(yù)警系統(tǒng)；

·通過采樣分析，定制化學(xué)過濾器，通過再循環(huán)空氣系統(tǒng)控制 AMC，變害為利；

·提供實(shí)時(shí)在線歷史數(shù)據(jù)查看和數(shù)據(jù)圖標(biāo)趨勢(shì)分析；

·集成液晶顯示界面快速反饋和數(shù)據(jù)檢索;

·遠(yuǎn)程控制，支持 TCP/IP 以及485 連接到現(xiàn)有上位機(jī)。

03.AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)功能

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)會(huì)對(duì)潔凈室內(nèi)部分區(qū)域AMC含量濃度等環(huán)境參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，實(shí)時(shí)掌握空氣潔凈度的變化趨勢(shì)，以及任何一次超出控制的異常情況，才能讓污染物在對(duì)工藝、產(chǎn)品可能產(chǎn)生不良影響之前就采取措施，清除可能的不良作業(yè)、污染源和污染事件。