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對話億天凈化:直面電子半導體空氣凈化難題,護航產品良率!

2023-02-23
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深圳市億天凈化技術有限公司

近日,億天凈化公司總經理、深圳市生物與工業潔凈行業標準專業委員會會長夏群艷女士以“直面電子半導體空氣凈化難題,護航產品良率”為主題接受芯片揭秘欄目的專訪。

 
 
 
 
 
 

本期話題:

 

  • 家居凈化和工業級凈化,區別在哪兒?

  • 真正好的潔凈室一定是低能耗、高效率、高產出的

  • 直擊能耗痛點,最合適的方案是這樣“煉”成的

  • 參編行業標準,好的標準都是“試”出來的

億天凈化
 
 


家居凈化和工業級凈化

區別在哪兒?

 

幻實(主播):歡迎大家關注芯片揭秘,我是主播幻實。今天非常開心,我請到了一位在凈化行業有20多年經驗的朋友,同時也是位美女總裁,她就是億天凈化的總經理夏群艷女士。先請夏總跟大家打個招呼!

 

夏群艷(嘉賓):大家好,感謝芯片揭秘的邀請,我是億天凈化的夏群艷。

 

幻實(主播):說到凈化,大家的第一反應可能會想到家用凈化器。之前在上海很多人都處于居家隔離的狀態,家里會有新風系統和凈化系統用來提高環境質量,像我家里就有好幾臺凈化器,效果不錯。首先請教下您,能否站在從業者的角度給我們科普一下您所做的空氣凈化具體指什么?和家庭中使用的凈化有沒有區別?


夏群艷(嘉賓):家庭生活中更為關注的是顆粒物污染,比如之前被大眾熟知的PM2.5,另外就是家庭裝修所殘留的化學污染物質,以甲苯為主。有些在道路邊上不能開窗的家庭,室內空間相對來說就比較密閉,需要通過空氣凈化器來提高家庭內部的空氣質量。這類家庭型的凈化標準跟我們公司所正常從事的特殊工業領域,例如電子半導體、生物制藥等的標準是有所不同的。

 

這個不同體現在哪里呢?就是它的精度要求。電子半導體領域對潔凈度、溫濕度、壓力以及化學污染物等整體的潔凈度要求非常高,為什么?IC行業從過去九十年代的800nm到200nm,再到現在的5nm、3nm,制程越來越先進,精度逐漸提高,這也意味著一些關鍵技術要更加精密化,對環境的要求也是非常苛刻的。

 

 

我國空氣潔凈行業現行相關標準

 

如果環境不好,就會對產品的良率造成不可逆轉的損失。要知道半導體有700多種工序,在核心的幾道工序里如果出現了嚴重的顆粒物和化學污染,會使整體的良率下降非常大。對家居來說,可以用比較寬泛的指標,比如PM2.5;但對于半導體行業來說,會有更細化的要求,細到什么程度呢?很多時候要管控在0.1微米,還有化學污染,我們要求的是0.3個PPb(Part per billion,表示濃度,也稱十億分比濃度),而家居相對來說就更加寬泛,幾十個PPb都可以。

 

幻實(主播):聽起來人對環境的要求和半導體制造對環境的要求完全不在一個量級上,看來人還沒這么嬌貴。

 

夏群艷(嘉賓):對于民用來說,很多設備只需要滿足PM2.5指標或VOC(Volatile organic compounds,揮發性有機化合物)總指標,那么看到的儀器可能會很便宜,百元到幾十元的都有。但是對于半導體來說,這些檢測儀器都是幾十萬甚至上百萬的。所以工業化和民用化的差距非常大,每提高一個量化等級,對應的技術難度都是更高的。

 

 

真正好的潔凈室

一定是低功耗、高效率、高產出的

 

幻實(主播):您剛剛提到了你們會用檢測儀器,我很好奇,你們的商業模式是什么?是幫助客戶一攬子解決問題還是提供一些“工具”和“尺子”讓客戶去發現問題?

 

夏群艷(嘉賓):這里有一個特殊的背景,我們公司是2005年成立的,成立后一直有和美國TSI等全球性氣溶膠科學檢測儀器企業合作的歷程,此前也跟HACH合作過。在化學污染檢測方面,也有與Thermo Fisher、Agilent以及萬通、PBI、杜克等合作。這些主要針對的是儀器的高端化,要給客戶帶來一種精準化的測量,測量完了以后才能發現問題并分析問題,再通過發現問題給客戶做整體的精細化解決方案。

 

這個過程就需要我們對整個的空氣環境,對用戶的應用場景做更細致化的研究,要跟他們有更多的接觸。因為很多時候只能看到大面上的一些數據,實際上每個客戶的工藝流程會有所不同,在過程中的管控也會不一樣。我們能夠做的就是通過檢測回來的數據去幫助客戶做更多完整性的解決方案。與只供應產品或者只提供檢測儀器的單位相比,我們做的閉環數據完整度更高,也能通過數據幫助客戶分析場景的應用問題,達到節能、不浪費資源這樣的辦法。

 

幻實(主播):我覺得很有意思,因為我自己家里如果選擇凈化,最擔心的不是它除了沒有,而是除了以后有沒有效果。就像您剛剛介紹的,你們會用非常先進的測量技術告訴客戶提供的方案確實能夠解決問題,能在數據上讓客戶安心,這真的是一個不錯的體驗。畢竟如果等到生產后再發現良率不合格損失就太大了,追查起來也是很不容易的一件事兒。


夏群艷(嘉賓):對,除了現場的檢測,我們還會在實驗室里多次做實驗,驗證不同材料和材料的配方以及相互間搭配的組合,還會根據客戶的現場環境變化再不斷地優化。很多時候我們與客戶的合作并不是一種短期的行為,而是長期行為。

 

 


億天凈化的綜合性檢測實驗室

 

服務周期越長、越好,發現的問題也會越多。我們在幫助客戶解決實際問題的時候,很看重節能減排的效果。除了保證良率以外,還能在后續不斷地優化中達到精細化診斷的程度。從公司角度而言,通過采集數據、分析數據、優化材料、把控現場環境等組合式的環節,最終為客戶提供整體解決方案,這樣就非常高效了。做沒做好也能通過現場的環境數據得到反饋,如果沒做好,在現場發現了異常問題,能快速找到應急解決的方法,回到公司實驗室去做新的測試和配套設計,再完整植入到客戶的現場里去,特別是機臺這些設備上也能做到非常好的精細化管控。


幻實(主播):剛剛夏總聊到了半導體行業的特殊性,就是關注產品的良率。其實這就是半導體企業尤其是晶圓代工廠賺不賺錢的核心管理能力了。如果良率管理得好、成熟度高,賺錢的能力就會強很多。我也想問問,據您了解,現在半導體行業內關于空氣凈化方向的監控、監管重視程度和管理水平怎么樣?

 

夏群艷(嘉賓):這個問題問得非常好。空氣過濾涵蓋了空氣動力學、氣溶膠科學等,涉及化學專業、材料專業,還有過濾技術、檢測技術,它是非常綜合的學科,也是高科技聚集的學科。一個大的潔凈廠房從設計到施工再到運營維護,以及產品良率爬坡的過程,每個階段環境都在時刻發生著變化,需要做到精細化管控。建一個晶圓廠需要付出巨大的代價,但運營潔凈廠房要付出的代價是持續性地、不斷增加的。

 

空氣潔凈技術所涉及到的學科

 

真正好的潔凈室一定是低能耗、高效率、高產出的,這樣它的運營成本、經營成本才會下降。由于這部分的綜合價格都會體現在我們的產品中,所以精細化管理對于潔凈室、廠房來說,就變成了重中之重。舉例來說,一座潔凈廠房最大的能耗在哪里?一個是正在運行的設備,另一個就是整體的空調系統。對潔凈室來說,它的空氣和空氣冷量是相關的,空氣過濾系統占整個空調系統能耗運營成本的40-50%,大數據會體現出精細化管理的成效。

 

首先生產環境需要保證所有產品在良率上不出問題,其次又做到精細化,減少浪費,這就是節能型的了。假設建一座3萬平米的潔凈廠房,實現高潔凈度肯定沒問題,但這樣建造成本和運營成本是相當昂貴的。可我們如果從工藝角度來剖析,就會發現不同工藝的潔凈度等級以及化學污染物的指標能夠進行分解,分解完成后,不同區域可以用不同的方案來做管控。不同產品之間也有差異,這就需要嚴格的測試,在全面的數據下面再進行優化處理。


此外運營也很重要,一座廠房剛建好時,基本上環境是不錯的,除了化學污染比較廣泛外,其他不同地方的潔凈度會比較好。此時對于化學污染的控制相對來說不太穩定。不過從產品良率爬坡期到穩定期這個過程中,會產生一些持續性的改變。

 

那么怎樣針對環境的變化而變化?管理應該怎么改變呢?這時也有很多細化的工作要做。我們希望能夠通過不斷地檢測和分析,最后幫客戶達成最佳的管理方案,幫他們做全方位的SOP操作規程。這里會涉及到企業端是否具備這么完整的技術人才儲備,有些企業做的非常好,什么樣的人才都會有儲備,但并不是所有的企業都具備這么大的人才資源庫。很多時候我認為專業的事情還是需要交給專業的人去處理,他們能實現事半功倍的效果。

 

幻實(主播):據您了解現在晶圓廠在這方面的意識怎么樣?開始重視這個環節了嗎?


夏群艷(嘉賓):是的,他們看重晶圓產品的良率,開始關注如何精細化管理降低能耗。

 

 

直擊能耗痛點

最合適的方案是這樣“煉”成的

 

幻實(主播):剛剛談到了能耗的問題,其實我沒太搞明白一個邏輯,就是關注凈化的問題會對能耗有幫助嗎?還是凈化要求高了會影響能耗的水平?

 

夏群艷(嘉賓):非常大,我一直認為沒有最好的,也沒有最差的,只有最合適的。為什么呢?因為每個客戶的需求都是不一樣的,要解決的問題點也就不一樣。怎樣幫他們去做最適合自身環境的產品、怎樣做產品之間的組合等,都是各不相同的。例如過濾器就是看阻力,阻力的增加會使能耗上升,因為它是24小時不間斷運轉的,包括從空調機組到潔凈室的主要核心的工藝層生產區,還有換氣系統等。我們所有的過濾器都會有一定的阻力,因為它是一個介質,不同產品的組合方式不一樣,都會造成它的巨大浪費。它要做的就是綜合的考評,不僅僅是從價格上面去考慮單次的投入,還要考慮后期運營上對能耗的長期投入,這會減少或增加企業的運營成本,優化的好自然會減少,優化的不好就會增加。

 

幻實(主播):您說的我特別有感受,因為這種晶圓廠一旦建立了就會用很多年,如果前期規劃性的東西沒有做好,未來再去調整成本就會很高了。建設成本是一攬子的,而持續的運營成本是每天都要花出的,所有運營這個廠的人都要付出代價,不僅要保證空氣質量能效的達標,還要保證運營成本的可控,所以我覺得擁有廠的人都是不容易的,要想的非常全面。夏總您和這些晶圓廠合作的時候有沒有遇到過針對供應鏈穩定性上面的一些挑戰?因為前兩年半導體供應鏈不是特別穩定,在芯片行業經常出現局部缺芯的狀況,有時甚至是核心原材料供應不足,尤其是一些從日本進口回來的。從您的角度來說,凈化技術也涉及到材料的方向,有在供應鏈上面遇到過問題嗎?

 

夏群艷(嘉賓):我們代理的都是一些高端儀器,是系統集成商。億天凈化的戰略合作品牌有TSI、Purafil(普拉飛)、Rion(理音)、TAPI、PBI、SNK、SUEZ(蘇伊士)、ThermoFisher(賽默飛)、APMON、VWR(艾萬拓威達優爾)等。

 

我們生產粉塵過濾器時,會買一部分材料回來,做工藝、結構方面的設計,再做優化方案,最后做成成品。所以在研發的過程當中,就已經把原材料地域性的問題弱化了,降低了風險性。對于另一些化學過濾器來說就更加沒有影響了,因為買回來的原料就是碳粉,它呈散狀,又是可以進行多種組合的,基本上不存在干擾。除此之外我們也在自主設計和研發一些原材料,能夠滿足供應需求,不太會受到例如美國制裁等大環境的影響,總體來說問題不大。


幻實(主播):這也是很不錯的進展,現在億天凈化在半導體行業內擁有了哪些比較成熟的客戶?可以介紹一下嗎?


夏群艷(嘉賓):目前國內兩大fab存儲廠——長江存儲和長鑫存儲都在使用我們供應的空氣過濾設備。硅片行業里,中欣晶圓的12吋廠、8吋廠,包括有研半導體等都是我們的合作客戶。對于其他的設備廠商我們也提供不同的配套產品和服務。

 

 


億天凈化在電子半導體賽道的部分合作伙伴

 

針對合作過程中出現的問題我們也會跟客戶不斷溝通和協調,幫助他們解決一些能耗問題,客戶對我們的信任度也比較高。有些行業的客戶,我們能幫他做精準化定制,比如對硼和磷這類材料的管制,在減少能耗的同時也讓他們的良率提升的非常快。

 

 

參編行業標準

好的標準都是“試”出來的

 

幻實(主播):您在技術上面已經有很多的積累了,我了解到您還是深圳潔凈行業標準專業委員會的會長,也承擔過很多標準的制定,同時常年和一些大學都有合作,我也想請教一下,你們為什么會選擇參與到行業標準的制定中?

 

 


億天凈化曾參與行業內三項國家標準的起草工作

 

夏群艷(嘉賓):因為無論是做產品還是做檢測,都需要相應的標準。沒有標準,我們甚至都不清楚該造出什么樣的產品。在此過程中需要不斷地學習、不停地實驗,與院校合作可以滿足這些需求。通過對比做實驗,不斷地了解產品的特性、優越性和組合。在這一系列里,我們掌握了很多的細節,學會了怎樣通過不同的組合方案幫客戶解決實際問題。我們非常榮幸能夠參加國際的潔凈室與相關受控環境檢測技術的應用與分析,參與到幾大標準的制定中。在深圳也有團體標準,叫做潔凈室車間環境的在線監測技術與規程,目前我們還有幾個在編的項目,關于核心區域工業潔凈室方面的檢測技術,不僅僅是顆粒物的,還有化學污染類的。在制定標準的過程中,我們不斷地總結迭代和做實驗,這也讓我們自己的產品得到很大的進步。

 

一方面很感謝行業內優秀的引領者帶著我們這些企業不斷地往前走,另一方面,企業也通過不斷地接觸現場環境,及時反饋給標準制定方,從而互相得到提升。我希望伴隨著這種過程的深入,能剖析國內的產業在實際應用方面,例如在運營、節能等指標上帶來更多優質的標準。隨著中國不斷的強大,通過標準化的制程、設計以及推廣,能讓廣大的企業不斷受益,也不斷提升自己。


幻實(主播):非常有社會責任感,做的也是綠色節能環保的行業,更體現社會責任,向您致敬!最后我還想問問您,您想把億天凈化做成什么樣的公司?未來的愿景和規劃是什么?


夏群艷(嘉賓):其實對我來說,我們的多元化指的是應用的多元化。因為接下來無論是整個的經濟體制還是技術發展,都不斷地再往更高的方向發展,對于我們潔凈行業,它能助力于所有高科技產業的發展。電子半導體屬于高科技,生物制藥也屬于高科技,我們的生物實驗室、生化實驗室,還有所有的動物實驗室,這些環境里面都會發生巨大的變化,還有疫情所導致的疾控、醫療,包括病毒的傳播,它都是以空氣作為介質傳播的東西。我是希望以后如果有朝一日能夠針對不同的行業做一些應用性的解決方案,幫助更多的行業去做一些精準化的管控,避免浪費。很多時候我們的檢測技術如果存在缺陷的話,可能造成部分產品的特性也變得參差不齊。

 

一個好產品,它不一定是最貴的,也不一定是最便宜的,而是最合適的。所以我們就是用檢測的數據幫助客戶去用正確的方法解決一些問題,讓他們花費更少的代價去做到他們想要達成的事兒。針對以后的行業做行業性的解決方案,可以幫助到更多的人。

 


億天凈化
空氣潔凈系統綜合解決方案

 

 

幻實(主播):非常棒,今天您來芯片揭秘分享了很多,非常感謝您對我們做一些認知上的開拓。最后您想借助我們的平臺對外做什么呼吁?


夏群艷(嘉賓):潔凈技術屬于高科技技術,有一定的特殊性。對于國內來說,我們行業不缺人才,但是比較散,尤其是核心的一些大的行業、大的客戶,基本上在客戶的應用供應鏈上面國外的品牌居多。我是希望國內的企業能夠擰成一股繩,認認真真、踏踏實實的去以技術為中心,從以前的量變到質變,真正的去優化一個方案,幫客戶解決一些實際問題。做好東西,做正確的東西。千萬不要為了做而做,這樣的話,會有巨大的浪費。

 

幻實(主播):不要為了做而做,希望大家擰成一股繩。好的,謝謝夏總!


夏群艷(嘉賓):我是億天凈化的夏群艷,我在芯片揭秘等著你。

 

 

提起PM2.5,大部分的人都不會感到陌生。近年來,公眾的環保意識在不斷增強,對PM2.5污染問題的關注也越來越多。新版《環境空氣質量標準》已將其納入強制性污染物監測范圍,并于2016年開始正式實施。

 

家居環境看重PM2.5,但換到工業環境,尤其是以電子半導體為代表的先進制造領域,對污染物的凈化要求遠高于家居環境。這也意味著先進制造離不開潔凈行業的“護航”——只有環境達標,才能減小fab廠在生產過程中受到的污染影響。我們希望國內有更多的潔凈企業能夠看到行業長遠發展的趨勢,從而把握機遇。通過不斷的技術迭代,為先進制造業提供低能耗、高效率、高產出的優質環境。


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